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    什么是凈房

    ISO 14644中定義
    空氣懸浮粒子濃度受控的房間、房間的建設和使用方式要盡可能減少室內引入、產生和滯留粒子,室內其它相關參數如溫度、濕度和壓力按要求進行控制;

    分 類

    按布局分類
    單區大空間式:適用于制造業、測試、安裝;
    隧 道 式 :適用于半導體前線;
    超潔凈微凈房: 適用于高級別區域。


    按功能分類
    工業用潔凈室(工業,ICR):如半導體、電子機器、精密機械、精致涂裝、光學、印刷、計器等

    工 業 用 潔 凈 室

    分類

    區分

    對應

    內容



    IC.LSI制作
    結晶精制、擴散、蝕刻、對準、表面處理、金屬附著、研磨、組裝、檢查、半成品保管、包裝。
    超精密加工、防止塵埃附著,防止霉菌的產生,以提升及確保產品的質量。



    電子計算器
    磁鼓、磁帶。
    加工、組裝、防止塵埃附著,防止霉菌的產生,以提升及確保產品的質量。
    電子機器
    光導映像管、布朗管、印刷板、小型繼電器。
     
    電器計測器
    精密電器計器。
     





    航空.宇宙產業
    人工衛生、回轉儀
    防止塵埃、菌、霉引起的事故。防止地球宇宙相互間污染
    精密機器
    微行軸承、普通軸承、高可靠度零件、裝置。
    防止因塵;烊敫街斐傻馁|量劣化。
    光學機器
    鏡片研磨、醫學用照相機、膠卷制造、微縮片、顯像、干燥。
     
    精密機械
    測定、控制用機器制造。
    防止塵埃、菌、霉,以確保及提升質量。
    控制檢查
    環境控制、實驗室、研究室
    防止發生事故。(產品檢查開發)
    印刷
    超精密印刷
    防止塵埃、菌、霉,以確保及提升質量。

    生物用潔凈室(化學,食物,醫療,實驗室等):除ICR的要求外,以過濾或殺菌方式對生物粒子也加以控制的空間。如醫學、藥物、食品及生物實驗等。

    分類

    區分

    對應

    內容







    制藥工業 非無菌藥品 固體制劑、口服液等
    無菌藥品 水針、凍干粉針,非經腸道制劑等
    食品工業 飲料水、乳制品等裝填室食用肉品、火腿包裝室  
    醫療設施 無菌手術室A級 人工關節手術、內臟器官移植手術(心、腎、肝等臟器)、腦神經手術、眼科手術(眼角膜移植)、剖腹生產手術
    一般手術室D級 泌尿科手術、婦產科手術、胸部外科手術、整形外科手術
    感染手術室D級 胸部外科、感染患者手術(梅毒、肝炎….)







    Ⅰ級對人體及公眾危險較低 基礎 枯草桿菌、大腸埃希氏桿菌
    Ⅱ級對人體有輕度危險,對公眾的危險有限 基礎 傷寒沙門氏菌、乙型肝炎病毒、結核分枝桿菌、淋巴細胞性脈絡叢腦膜炎病毒
    Ⅲ級對人體有較高危險,對公眾的危險較低 密閉 布魯氏菌屬、拉沙熱病毒、莢膜組織胞漿菌
    Ⅳ級對人體及公眾均有較高危險 高度密閉 埃波拉-瑪堡病毒、口蹄疫病毒


    按潔凈等級分類(0.5µm)
    •Class 1 • Class 10 • Class 100
    •Class 1K • Class 10K • Class 100K

    按空氣流分類
    •層流型


    •亂流型


    •水平流

    FS-209E 與ISO 14644-1標準的區別

    類別

    FS-209E

    ISO14644-1

    等級劃分

    強調按其潔凈度等級表中所列的標準等級,亦列出等級公式

    強調按等級公式

    等級依據公式

    Cm=(0.5/D)2.2×10M

    粒子數/ft3=Nc*(0.5/D)2.2(英制)

    Cm—某等級下,≥D的懸浮粒子最大濃度限值Pc/m3

    D—被考慮粒徑um

    M—潔凈度等級序數

    Nc—英制單位的潔凈度等級

    Cm=(0.1/D)2.08×10N

    Cn—同上Cm

    D—同上

    N同上M

    等級數

    M1—M7

    ISO1—ISO9級

    測試時潔凈室狀態

    未作規定

    1種或更多狀態

    測試的粒徑范圍要求

    1個或更多

    1個或更多,其粒徑至少應為下一個較小粒徑的1.5倍

    最小取樣體積

    2.83L

    2L

    取樣點數

    非單向流:A×64/(10M)0.5

    單向流:A/2.32,A×64/(10M)0.5中取較小者

     

    取樣次數

    1次或更多

    1次,若僅為一點時則取樣3次

    超微粒子

    ≤0.02um

    <0.1um

    大粒子

    未作規定

    >5um

    等動力取樣

    包括

    未包括

     
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